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VESPEL

VESPEL

特征

  • 最高耐热性(可以连续使用于288℃的高温环境中,
    可以短时间使用于482℃高温环境以及超低温环境中)
  • 在无润滑条件下,具有一般树脂的10倍以上耐磨性
  • 耐缓慢变形性、电气特征优秀
  • 机械加工性优秀
  • 耐药品行
  • 尺寸稳定性
  • 真空的耐气体释放性

适用

  • Chamber内的耗材零件
  • 半导体工程中的retainer ring
  • seling, washer, pin, 各种ring